Висока чистота титанові цільові цілі

 

 

Цільовими цільовими титанами з високою чистотою є цілі для розпилення покриття, виготовлені з титанових або титанових сплавів високої чистоти з чистотою 99,9% до 99,9999%.

Вони в основному використовуються у виробництві напівпровідників, дисплеях плоских панелей, декоративному покритті та всмоктуванню вакуумного обладнання.

Основні показники продуктивності включають чистоту, щільність (4,506-4,51 г/см³), розмір зерна (менший або дорівнює 50 мкм) та контроль над нечистом, який повинен відповідати внутрішнім та міжнародним стандартам, таким як ASTM та ISO.

 

Титанові цілі використовуються в інтегрованих схемах для відкладення бар'єрних шарів, таких як титано-силіконові сполуки та сполуки титанового азоту, з чистотою 4N5-6N для задоволення вимог 0,18 мкм та більш вдосконалених процесів.

 

У галузі прикраси розпилення магнетрону можна використовувати для приготування різних шарів кольорової плівки, а вакуумне покриття має як високу адгезію, так і корозійну стійкість.

Крім того, цілі титану застосовуються в таких сценаріях, як медичні імплантати та аерокосмічні покриття через їх переваги легкої та біосумісної.

Технічні характеристики продукту охоплюють діаметри від 50 до 400 мм і товщини від 3 до 28 мм та підтримують індивідуальні вимоги, такі як обов'язкові мідні цілі назад.

 

 

1) Чистота

Однак у практичних програмах вимоги до чистоти до цільових матеріалів також різняться. Наприклад, при швидкому розвитку промисловості мікроелектроніки розмір кремнієвих плит перетворився з 6 "та 8" до 12 ", тоді як ширина проводки зменшилася з 0,5 -ти до 0,25 -ти, 0,18UM і навіть 0,13UM. Раніше цільовий матеріал чистоти 99,995%, що готується до 0,35 -річного матеріалу. 99,999% або навіть 99,9999%.

 

2) Зміст домішки

Домішки в твердій цільовій матеріалі та кисневі та водяні пари в порах є основними джерелами забруднення для осадженої плівки. Вимоги до різного вмісту домішок цільових матеріалів для різних цілей також змінюються. Наприклад, чисті цілі алюмінієвого та алюмінієвого сплаву, що використовуються в напівпровідниковій галузі, мають особливі вимоги до вмісту лужних металів та радіоактивних елементів.

 

3) Щільність

Щоб зменшити пористість у твердій цільовій матеріалі та підвищити продуктивність розпилюваної плівки, зазвичай потрібно, щоб цільовий матеріал мав відносно високу щільність. Щільність цільового матеріалу не тільки впливає на швидкість розпилення, але й впливає на електричні та оптичні властивості плівки. Чим більша щільність цільового матеріалу, тим краще виконання фільму. Крім того, збільшення щільності та міцності цільового матеріалу дозволяє йому краще протистояти тепловому напрузі під час процесу розпилення. Щільність також є одним із ключових показників продуктивності цільових матеріалів.

 

4) Розподіл розміру зерна та розподіл розміру зерна

Зазвичай цільовий матеріал має полікристалічну структуру, а розмір зерна може варіюватися від мікрометрів до міліметрів. Для того ж цільового матеріалу швидкість розпилення цілі з дрібними зернами швидша, ніж у цілі з грубими зернами. Розподіл товщини плівок, осаджених цільовим розпиленням, з меншими різницею розміру зерна (рівномірного розподілу) є більш рівномірним.

 

 

 

A. Процеси прокатки та кування титану цільових матеріалів

Гаряче прокатка та холодне прокатка використовуються для переробки титанових матеріалів у необхідні розміри та форми.

Процес кування підвищує механічну міцність та внутрішню рівномірність цільового матеріалу, покращуючи структуру зерна матеріалу.

 

B. Поверхневе полірування та обробка

Поверхневе полірування гарантує, що цільовий матеріал має хорошу обробку поверхні та зменшує нерівність під час розпилення.

Поверхнева обробка (наприклад, видалення оксидної шкали та дрібного шліфування) може посилити плавне вивільнення частинок розпилення, тим самим покращуючи якість покриття.

 

 

1. Випробування чистоти цільових матеріалів

Інструменти спектрального аналізу використовуються для виявлення компонентів домішок (таких як азот, кисень, залізо тощо) у цільових матеріалах титану, щоб забезпечити їх чистоту понад 99,9%.

 

2. Виявлення фізичних параметрів

Тест на щільність: Щільність цільового матеріалу вимірюється методом переміщення води, щоб виявити, чи є всередині пори.

Випробування шорсткості поверхні: Оцініть поверхневу площину цільового матеріалу за допомогою лазерного інтерферометра.

Тест на міцність: Переконайтесь, що механічні властивості цільового матеріалу відповідають вимогам розпилення за допомогою випробувань на розрив та тести на твердість.

 

 

 

Популярні Мітки: Висока чистота титанові цілі розпилення, китайська висока чистота титанові цільові цілі виробників, постачальників, фабрика